臺式掃描電子顯微鏡ZME 20采用更加寬泛的加速電壓，1KV步進，換樣時間僅需30秒，最大放大36萬倍，分辨率5nm@20kV。標(biāo)配減速模式，滿足弱導(dǎo)電樣品不噴金直接觀察、電子束敏感樣品無損觀察的要求。
產(chǎn)品特色
換樣時間僅需30s
超大樣品倉185*176*125（長*寬*高）mm
1-60Pa 低真空模式選配
10kV樣品臺高壓減速選配
增加樣品倉內(nèi)攝像頭，可實時觀察樣品倉內(nèi)情況
軟件升級自動亮度對比度、自動聚焦、自動消像散、大圖拼接等功能模塊
槍頭一直維持5*10-5pa真空，大大提高鎢燈絲使用壽，同時可選配LaB6燈絲
五軸中心樣品臺選配
豐富的原位擴展接口，可搭配拉伸臺、加熱臺、TEC冷臺、納米壓痕等原位產(chǎn)品
支持寄樣測試
應(yīng)用案例
臺式掃描電子顯微鏡ZEM 20廣泛運用在電子半導(dǎo)體/工業(yè)檢測、功能無機材料/化工、科研教學(xué)/生命科學(xué)、新能源材料等行業(yè)。
部分客戶
臺式掃描電子顯微鏡臺式掃描電子顯微鏡技術(shù)參數(shù)
| 型號 | ZEM 20臺式掃描電子顯微鏡 |
| 環(huán)境要求 | AC 220V,50Hz，1kW,無需減震臺 |
| 加速電壓 | 3kV~18kV連續(xù)可調(diào),1kV步進 |
| 電子槍 | 預(yù)對中鎢燈絲，一體式聚光鏡，無需手動調(diào)節(jié)物鏡光闌，可選配LaB6燈絲 |
| 放大倍數(shù) | 25~360000倍 |
| 探測器 | 四分割背散射電子探測器、二次電子探測器、集成式能譜儀(選配) |
| 樣品臺行程 | 三軸:X:60mm，Y:60mm，T:±45° 五軸(選配):X:90mm,Y:50mm,2:25mm,R:360°,T:-10°-90° |
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